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    電子級水GB/T 11446.3-2013標準

    發布時間:2020-07-15來源:瀏覽:

    1、 范圍
    GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。
    本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。

    2、 規范性引用文件
    下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
    GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
    GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
    GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
    GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
    GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
    GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法
    GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
    GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法

    3 、術語和定義
    下列術語和定義適用于本文件。

    3.1、電子級水 electronic grade water
    電子和半導體工藝過程中所用的高純水。

    3.2、電阻率 resistivity
    在規定溫度下,1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示,單位為歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。

    3.3、全硅 total silicon
    水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。

    3.4、可溶性硅 soluble silicon
    以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。

    3.5、微粒性物質 granular matter
    除氣體外,以非液體分散在水中,并形成非均相混合物的物質。

    3.6、總有機碳 total organic carbon;TOC
    水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。

    3.7、吸附 absorption
    某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的現象。

    3.8、凝聚 coagulation
    在源水中加入某種電解質后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。

    3.9、絮凝 flocculation
    水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進行,可除去水中更細的微粒。

    3.10、砂濾器 sand filter
    用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。

    3.11、活性碳過濾器 activated carbon filter
    裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。
     
    3.12、離子交換 ion exchange
    一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質并無實質性結構變化。

    3.13、離子交換樹脂 ion-exchange resin
    一種合成的有機離子交換材料。

    3.14、去離子水 deionized water
    經過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質的高純水

    3.15、再生 regeneration
    離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中,用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。

    3.16、復合床 complex bed
    將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯,使水依次通過兩個柱而被純化。

    3.17、混合床 mixed bed
    將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當于許多復合床串聯使用。

    3.18、電滲析 electrodialysis
    一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時,在電流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。

    3.19、逆向滲透 reverse osmosis
    用半透膜將濃水和淡水隔開,并在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力,則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中,達到分離提純的目的。

    3.20、反滲透膜 reverse osmosis membrane
    用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0.02μm或更小,可用于除去無機離子、有機物、細菌等,使水純化。

    3.21、微孔膜濾器 membrane filter
    一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

    3.22、超過濾 ultrafiltration
    一種過濾方法,在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。

    3.23、終端 terminal
    高純水生產流程中經過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。

    3.24、無菌 sterile
    不含任何活有機體(不論是活躍的或休眠的)。

    3.25、PH
    水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。

    4 、分類和標記

    4.1、 分類
    電子級水分為四個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。

    4.2、 標記
    Ⅰ級電子級水標記為:EW-Ⅰ。
    Ⅱ級電子級水標記為:EW-Ⅱ。
    Ⅲ級電子級水標記為:EW-Ⅲ。
    Ⅳ級電子級水標記為:EW-Ⅳ。
     
    5 、要求
    電子級水的技術指標應符合表1規定。
    表1 電子級水的技術指標

    項目

    技術指標

    EW-Ⅰ

    EW-Ⅱ

    EW-Ⅲ

    EW-Ⅳ

    電阻率(25℃)/MΩ·cm

    ≥18
    (5%時間不低于17)

    ≥15
    (5%時間不低于13)

    ≥12

    ≥0.5

    全硅/(μg/L)

    ≤2

    ≤10

    ≤50

    ≤1000

    微粒數/
    (個/L)

    0.05μm~0.1μm

    500

    -

    -

    -

    0.1μm~0.2μm

    300

    -

    -

    -

    0.2μm~0.3μm

    50

    -

    -

    -

    0.3μm~0.5μm

    20

    -

    -

    -

    >0.5μm

    4

    -

    -

    -

    細菌個數/(個/mL)

    ≤0.01

    ≤0.1

    ≤10

    ≤100

    銅/(μg/L)

    ≤0.2

    ≤1

    ≤2

    ≤500

    鋅/(μg/L)

    ≤0.2

    ≤1

    ≤5

    ≤500

    鎳/(μg/L)

    ≤0.1

    ≤1

    ≤2

    ≤500

    鈉/(μg/L)

    ≤0.5

    ≤2

    ≤5

    ≤1000

    鉀/(μg/L)

    ≤0.5

    ≤2

    ≤5

    ≤500

    鐵/(μg/L)

    ≤0.1

    -

    -

    -

    鉛/(μg/L)

    ≤0.1

    -

    -

    -

    氟/(μg/L)

    ≤1

    -

    -

    -

    氯/(μg/L)

    ≤1

    ≤1

    ≤10

    ≤1000

    亞硝酸根/(μg/L)

    ≤1

    -

    -

    -

    溴/(μg/L)

    ≤1

    -

    -

    -

    硝酸根/(μg/L)

    ≤1

    ≤1

    ≤5

    ≤500

    磷酸根/(μg/L)

    ≤1

    ≤1

    ≤5

    ≤500

     
    6 、試驗方法

    6.1 、電阻率
    電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。

    6.2、 全硅含量(以二氧化硅計)
    電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

    6.3 、微粒數
    電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。

    6.4、 細菌總數
    電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。

    6.5、 痕量金屬含量
    電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。
     
    6.6、 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
    電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。

    6.7 、總有機碳含量
    電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。

    7、 檢驗規則

    7.1、檢驗部門
    電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。

    7.2 檢驗分類
    電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。

    7.3、交收檢驗
    7.3.1 、抽驗項目
    電子級水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。

    7.3.2 、合格判據
    在用水終端采樣,檢驗后檢驗結果如有一項或一項以上不合格時,應再次采樣經行檢驗,如仍不合格,則該批不合格,應提出改進措施直到水質合格。

    7.4 、例行檢驗(全檢項目)

    7.4.1、 檢驗項目
    檢驗項目為表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響后序實驗結果的原則進行檢驗。

    7.4.2、 不合格判定
    在用水終端采樣后進行例行檢驗,檢驗結果如有不合格項時,應再次采樣進行檢驗,如仍有不合格項時,應提出改進措施直到水質合格。

    7.4.3、 檢驗頻次
    例行檢驗至少每年進行一次,當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。

    8 、采樣、貯存、運輸及標志

    8.1、采樣、貯存、運輸
    電子級水的采樣、貯存、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定。

    8.2 、標志
    在用水終端采樣進行檢驗時,水質合格后應附有檢驗合格證,合格證應包含如下內容:

    00001. 名稱及級別;

    00002. 各項技術指標;

    00003. 制水單位;

    00004. 供水日期;

    00005. 檢驗員簽章及檢驗日期。

     

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